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奥林巴斯半导体检测显微镜 MX61L/MX61

更新时间:2022-08-24 00:00:00

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简要描述:

奥林巴斯半导体检测显微镜 MX61L/MX61 半导体/FPD检查显微镜;为用户提供高效率。MX61适用于大200mm的样

奥林巴斯半导体检测显微镜 MX61L/MX61系统(无限远校正光学系统)

12V100W卤素灯泡(预定心型) 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组(选配) ,转换使用内置电动孔径光阑(每个物镜可预设,物镜转换时自动转换,暗视场观测时自动打开)

超宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的标准配置)

奥林巴斯MX61显微镜,①反射光明视场法;②反射光暗视场法;③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法;④反射光简单偏振法;⑤反射光荧光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明视场法;⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。

奥林巴斯半导体检测显微镜 MX61L/MX61 为用户提供高效率。

MX61适用于大200mm的样本,而MX61L则可适用于大300mm的样本。

1、大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆全面检查(MX61L)。

2、采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利。

3、多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求。

4、透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果。

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